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雙電測(cè)數(shù)字式四探針測(cè)試儀

更新時(shí)間:2015-08-04  |  點(diǎn)擊率:766

雙電測(cè)數(shù)字式四探針測(cè)試儀型號(hào): ST2263

概述
     ST2263型雙電測(cè)數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用直線或方形四探針雙位測(cè)-改進(jìn)形范德堡測(cè)量方法測(cè)試電阻率/方阻的多用途綜合測(cè)量?jī)x器。該儀器設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測(cè)試方法標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針、電壓探針的變換,進(jìn)行兩次電測(cè)量,對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測(cè)分析,自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響,它與單電測(cè)直線或方形四探針相比,大大提高度,特別是適用于斜置式四探針對(duì)于微區(qū)的測(cè)試。  
      ST2263型雙電測(cè)數(shù)字式四探針測(cè)試儀成套組成:由主機(jī)、選配的四探針探頭、測(cè)試臺(tái)以及PC軟件等部分組成。 北京同德創(chuàng)業(yè)  專業(yè)鑄造品質(zhì)
      ST2263型主要由精密恒流源、高分辨率ADC、嵌入式單片機(jī)系統(tǒng)組成,USB通訊接口。儀器主機(jī)所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤和數(shù)碼開(kāi)關(guān)輸入;具有零位、滿度自校功能;測(cè)試功能可自動(dòng)/手動(dòng)方式;儀器操作可由配套軟件在PC機(jī)上操作完成,也可脫P(yáng)C機(jī)由四探針儀器面板上獨(dú)立操作完成。測(cè)試結(jié)果數(shù)據(jù)由主機(jī)數(shù)碼管直接顯示,也可連機(jī)由軟件界面同步顯示、分析、保存和打印!
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     探頭選配:根據(jù)不同材料特性需要,探頭可有多款選配。有高耐磨碳化鎢探針探頭,以測(cè)試硅類半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)
材料的電阻率/方阻;也有球形鍍金銅合金探針探頭,可測(cè)柔性材料導(dǎo)電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導(dǎo)電膜(ITO膜)或納米涂層等半導(dǎo)體材料的電阻率/方阻。換上四端子測(cè)試夾具,還可對(duì)電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開(kāi)關(guān)類接觸電阻進(jìn)行測(cè)量。
     測(cè)試臺(tái)選配:一般四探針?lè)y(cè)試電阻率/方阻配SZT-A或SZT-B或SZT-C或SZT-F型測(cè)試臺(tái)。 北京同德創(chuàng)業(yè)  專業(yè)鑄造品質(zhì)
          詳見(jiàn)《四探針儀器、探頭和測(cè)試臺(tái)的特點(diǎn)與選型參考》點(diǎn)擊進(jìn)入 
      ST2263型具有測(cè)量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、智能化程度高、測(cè)量簡(jiǎn)便、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便等特點(diǎn)。
     儀器適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對(duì)導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測(cè)試,特別是適用于斜置式四探針對(duì)于微區(qū)的測(cè)試。
三、基本技術(shù)參數(shù) 北京同德創(chuàng)業(yè)  專業(yè)鑄造品質(zhì)
3.1  測(cè)量范圍 北京同德創(chuàng)業(yè)  專業(yè)鑄造品質(zhì)
    電阻率:1×10-4~2×105 Ω-cm,分辨率:1×10-5~1×102 Ω-cm
    方  阻:5×10-4~2×105 Ω/□,分辨率:5×10-5~1×102 Ω/□
    電  阻:1×10-5~2×105 Ω   ,分辨率:1×10-6~1×102 Ω
3.2  材料尺寸(由選配測(cè)試臺(tái)決定和測(cè)試方式?jīng)Q定)
    直    徑:SZT-A圓測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 Φ15~130mm,手持方式不限
    SZT-B/C/F方測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式180mm×180mm,手持方式不限.
    長(zhǎng)(高)度:測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 H≤100mm,    手持方式不限.
    測(cè)量方位: 軸向、徑向均可
3.3.  4-1/2 位數(shù)字電壓表:
    (1)量程: 20.00mV~2000mV
    (2)誤差:±0.1%讀數(shù)±2 字
3.4  數(shù)控恒流源
   (1)量程:0.1μA,1μA,10μA,100μA,1mA,10mA,100mA,1A
   (2)誤差:±0.1%讀數(shù)±2 字
3.5  四探針探頭(選配其一或加配全部)
   (1)碳化鎢探針:Φ0.5mm,直線探針間距1.0mm,探針壓力: 0~2kg 可調(diào)
   (2)薄膜方阻探針:Φ0.7mm,直線或方形探針間距2.0mm,探針壓力: 0~0.6kg 可調(diào)
3.6 電源 北京同德創(chuàng)業(yè)  專業(yè)鑄造品質(zhì)
   輸入: AC 220V±10% ,50Hz  功        耗:<20W
3.7 外形尺寸:
   主機(jī)  220mm(長(zhǎng))×245 mm(寬)×100mm(高)

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